Uvid u industriju|Koliko je kritična čistoća plina u proizvodnji poluvodiča?

Dobro{0}}utvrđeni konsenzus prevladava u proizvodnji poluvodiča: gornja granica performansi čipa određena je dizajnom, dok donja granica proizvodnog prinosa ovisi o čistoći materijala.

Slika je preuzeta s interneta.

Od čišćenja pločice i taloženja tankog -sloja do jetkanja i dopinga, proizvodni proces za jednu pločicu od 12-inča uključuje više od 30 vrsta procesnih plinova, uključujući silan, amonijak, dušikov trifluorid, volframov heksafluorid, klorovodik i još mnogo toga. Svaki plin mora biti isporučen u reakcijsku komoru ultra visoke čistoće.

Nečistoće u tragovima na razini ppb (vlaga, kisik, čestice) koje ulaze u plinske cijevi mogu izazvati defekte tankog-sloja i površinsku kontaminaciju, izravno smanjujući prinos proizvodnje. Uzimajući 3nm proces kao primjer, svaki pojedinačni čip vrijedi stotine američkih dolara; fluktuacija prinosa od samo 1% dovoljna je za brisanje profita koji se procjenjuje na desetke milijuna.

U industriji poluvodiča, "visoka čistoća" ne znači "spreman-proces". Pravi izazov leži u zadržavanju čistoće - održavanju kontaminacije-slobodnog plina kroz cijeli put isporuke od izvora plina do točke upotrebe (POU).

Tri temeljne mjere zaštite rade u tandemu kako bi se to postiglo:

(1) Odabir materijala: Cijevi i tijela ventila proizvedeni su od VIM+VAR dvostruko pretopljenog nehrđajućeg čelika 316L kako bi se smanjilo elementarno ispuštanje plinova iz osnovnih materijala.

(2) Završna obrada površine: Hrapavost unutarnje površine Ra Manja ili jednaka 0,25 μm (10 μin.) s tretmanom elektropoliranja (EP) za smanjenje prianjanja čestica i adsorpcije vlage.

(3) Integritet hermetičkog brtvljenja: Brzina istjecanja helija Manja ili jednaka 1×10⁻⁹ atm·cc/sek za potpuno blokiranje ulaza vanjske kontaminacije.

Linija proizvoda VIGOR VUPS Ultra-High Purity pokriva cijeli lanac isporuke plina u skladu sa SEMI standardima, uključujući VCR metalne čeone-brtvene armature, visoko-membranske ventile-čistoće i dvo-stupanjske regulatore tlaka.

Svi proizvodi su sastavljeni, ispitani i dvostruko{0}}vakuumirano-zapakirani u čistim sobama klase 100 prije otpreme. Ono što korisnici dobivaju nisu samo pojedinačni ventili, već potpuni plug{4}}and-sustav osiguranja ultra-visoke čistoće.

VIGOR proizvodi pouzdano rade u specijalnim sustavima za isporuku plina i CVD/PVD cjevovodima za opskrbu plinom u brojnim tvornicama pločica, kompatibilni s kritičnim procesnim plinovima kao što su silan, dušikov trifluorid i bor triklorid.

Proizvodnja poluvodiča je beskrajna utrka protiv zagađivača -, a VIGOUR-ova misija je osigurati najčišću moguću startnu liniju za ovu utrku.